반도체 박막 증착설비 수리중 감전
속보번호: 안전제98-36호
날짜 : 1998년 08월
업종 : 전기기계기구제조업
기인물 : E-Beam(전자빔 박막 증착기)
재해유형 : 감전
피해정도 : 사망1명
공정 : 증착설비 교환장치 수리작업
┌─────────────────────────────────────┐
│ 재 해 개 요 반도체 박막 증착설비의 금속물질 교환장치가 고장나자 전원 │
│ (특별고압)을 미차단한 상태에서 수리중 노출 충전부에서 접 │
│ 촉되어 감전 사망함. │
│ │
│ 예 방 대 책 ○ 활선(근접)작업시 안전수칙 준수 │
│ ○ 도어개방시 전원이 차단되는 전원차단 장치 설치 │
│ ○ 근로자 안전교육 철저 │
└─────────────────────────────────────┘
1. 재해개요
1998년 8월 ○일 10:13분경 대전시 유성구 소재 ○○통신에서 반도체 박막 증착 설비의 금속물질 교
환장치가 고장나자 박막 증착설비 하부의 회전 타켓 구동용 서보모터가 설치된 도어를 열고 점검하
던중 충전부가 노출된 특고압에 접촉되어 감전 사망함.
2. 재해발생 과정
가. 공정도
┏━━━━━━┓ ┏━━━┓ ┏━━━━┓ ┏━━━━┓
┃웨이퍼 투입 ┃→ ┃고진공┃→ ┃금속물질┃→ ┃고 전 압┃→
┃ ┃ ┃ ┃ ┃선 택 ┃ ┃발 생 ┃
┗━━━━━━┛ ┗━━━┛ ┗━━━━┛ ┗━━━━┛
┏━━━┓ ┏━━━┓
┃Beam ┃→ ┃증 착┃
┃발 생 ┃ ┃ ┃
┗━━━┛ ┗━━━┛
나. 기인물
○ 설 비 명 : E-Beam(전자빔 박막 증착기)
○ 입력전원 : 교류 120V
○ 출력전원 : 15kw, 10kv(직류)
○ 용 도 : 고전압을 인가하므로써 금속물질을 가열하여 실리콘 웨이퍼에 박막을 증착
다. 재해발생 상황
○ 재해발생 당일 08:40분 전자 박막 증착설비를 이용하여 금속박막을 증착하기 위한 준비작업중
○ 08:50분경 금속물질 교환장치의 고장으로 장비수리를 실시함.
○ 전원(특별고압)이 인가된 상태에서 피재자가 작동상태를 확인중 특별고압 충전부 단자에 우측손
이 접촉되어 감전 사망함.
※ 통전경로 : 특별고압 충전부 단자 - 오른손 검지 - 심장 - 둔부 - 스테인레스 작업대 - 바닥
3. 재해발생원인
가. 특별고압활선 근접작업 안전조치 미준수(전원 미차단)
특별고압 충전부에 근접하여 전기기계·기구의 설치·점검·수리등의 작업을 할 경우에는 감전의 우
려가 없도록 당해 전로를 정전시킨 후 작업을 실시 하여야 하나 미실시함.
나. 작업방법 불량 및 관리감독 소홀
금속물질 교환장치의 회전 타켓을 수동조작할 때 특별고압을 인가한 상태에서 수리·점검작업실시
및 작업에 대한 관리감독 소홀
4. 동종재해예방대책
가. 활선근접 작업시 안전수칙 준수
○ 전기기계·기구의 설치·점검·수리등의 작업에 있어서는 당해 작업에 종사 하는 근로자의 신체가
충전부에 접촉함으로 인하여 감전의 위험이 발생할 우려가 있는 경우 당해 전로를 정전시키고
작업
○ 정전작업이 곤란한 경우 감전의 위험이 발생하지 않도록 접근한계 거리를 유지하거나 충전전로
에 방책을 설치하여 근로자가 접촉할 수 없도록 하는 등의 조치를 취할 것
나. 도어개방시 전원이 차단되는 전원차단장치 설치
특별고압의 충전부가 설치된 장소의 도어 개방시에는 전원이 차단되도록 Limit S/W를 설치
다. 근로자 안전교육 철저
특별고압 활선 또는 활선근접작업시의 안전수칙을 준수하도록 정기적으로 근로자 교육
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